ohřev mocvd reaktoru s indukcí
Indukční ohřívací reaktory s metalorganickou chemickou depozicí z plynné fáze (MOCVD) je technologie zaměřená na zlepšení účinnosti ohřevu a snížení škodlivé magnetické vazby se vstupem plynu. Konvenční reaktory MOCVD s indukčním ohřevem mají často indukční cívku umístěnou mimo komoru, což může vést k méně účinnému ohřevu a potenciální magnetické interferenci se systémem dodávky plynu. Nedávné… Dozvědět se více